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IPH半导体中度严苛系列

用途：

Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD


特点：


IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，，，适用于严苛制程。。。

它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。。

汇聚成独特型线设计，，上海，，，，台湾，，制造。。。

较之前的版本节能25%，，配置有省电模式。。。

带有加热系统避免制程物沉积。。

优化的尺寸，，，，即插即用。。。


规格型号
产品样本和技术手册

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产品样本和技术手册

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